1、自动对焦功能。配备激光自动对焦功能，能够准确对焦，提高测量效率；
2、具有焦点距离切换功能，适用于有凹凸的机械部件与电路板的底部进行测量；
3、多种修正功能。基材修正、已知样品修正、人工输入修正；
4、选用Mo靶材X射线管，测量贵金属更灵敏；
5、卤素灯照明；
6、膜厚仪采用检量线法和FP法，两个准直器可自动切换，采用激光自动对焦，并配备有Z轴防冲撞传感器，可防止在对焦时造成的损坏； 7、其支持多种语言的软件系统。简体中文、繁体中文、英语、日语、韩语；
8、搭载样品尺寸的兼容性可适用于各种样品，能够通过一台仪器测量，从电子部件、电路板到机械部件等高度较高的样品，从较厚的样品 (机械零部件)之大型线路板(PCB)及电子元器件等；
9、即时生成测量报告的便捷性。可以简单轻松得到制作报告；
10、是搭载了电动Ｘ－Ｙ移动平台。
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